特點
1、風速均勻
2、厚度薄
3、高效率
4、大容塵量
5、 0.1~0.5 um粒子捕集
6、效率99.9995%以上
一般應(yīng)用
超LSI制造工場、半導體制造工場、原子力研究中心、無塵室、層流設(shè)備、工作臺等其他要求超高潔凈度的場合
風量與阻力關(guān)系
構(gòu)成材料及運行條件
框材 | 密封膠 | 分隔物 | 濾料 | 使用最高溫度 | 使用最高濕度 | 密封條 |
---|---|---|---|---|---|---|
鋁型材 | 聚氨脂膠 | 熱熔膠 | 玻纖濾紙 | 80℃ | 100% | EVA |
參數(shù)
型號 | 外型尺寸 (W×H×Dmm) |
額定風量 m3/h |
容塵量 g |
面風速 m/s |
初阻力 pa |
終阻力 pa |
效率 0.3um |
---|---|---|---|---|---|---|---|
HU | 610×610×50 | 470 | 約450 | 0.35 | ≤180 | 400 | 99.9995% 也有H13效率 超低阻可選 |
915×610×50 | 700 | 約700 | 0.35 | ||||
610×610×69 | 600 | 約650 | 0.45 | ||||
915×610×69 | 900 | 約950 | 0.45 | ||||
610×610×90 | 800 | 約800 | 0.6 | ||||
1170×570×69 | 1000 | 約1100 | 0.45 | ||||
1220×610×90 | 1600 | 約1600 | 0.6 | ||||
1170×1170×69 | 2200 | 約2200 | 0.45 |